1、空气处理效果好，因空气经过集中处理，在送风过程中被污染程度较低。送风的温度、湿度的控制比较精准;
2、比较适用于有集中冷源的或是较大的厂房;
3、空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或独立冷热源;
4、维修频率较低;
5、车间的噪音低。
万级净化车间规范包含以下几点：1、细颗粒物较大容许数(每立方);2、大或相当于0.5微米的粒子数不可超出350000个，大或相当于5微米的粒子数不可超出2000个;3、微生物菌1种较大容许数;4、菌数不可超出一百个每立方;5、菌数不可超出三个每培养液。6、压差：同样洁净室等级的洁净室压差保持一致，针对不一样清洁级别的邻近洁净室中间压差要≥5Pa，洁净室和非洁净室中间要≥10Pa。千级净化车间对温度、环境湿度无特别要求时，以衣着洁净服不造成舒适感为宜，温度一般操纵在冬天20~22℃;夏天24~26℃;起伏±2℃。冬天洁净室环境湿度操纵在30-50%，夏天洁净室环境湿度操纵在50-70%。7、配电设备：洁净室(区)的关键生产制造用地一般光照强度值宜≥300Lx;輔助个人工作室、工作人员清洁和原材料清洁用室、气闸室、过道等的光照强度值宜为200~300Lx。
无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，净化车间设计，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
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